3D輪廓儀 / 形狀輪廓測量儀
可以“面”捕捉目標(biāo)物的凹凸,瞬間測量大范圍的立體形狀。通過非接觸方式可最快1秒測量毛刺等細(xì)微形狀或表面粗糙度的粗糙度儀/輪廓測量儀。測量儀可自動判斷測量物的高度或大小、材質(zhì)或顏色的靈敏度設(shè)定等。在減少測量錯誤、縮短時間的同時,不熟悉測量儀的人也可立即開始獲取數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品陣容
3D 輪廓測量儀“VR-6000 系列”以非接觸方式直接實(shí)現(xiàn)粗糙度儀、形狀輪廓測量儀的測量。3D 輪廓測量儀以 0.1 μm 分辨率捕捉觸針式無法充分測量的面整體形狀。還新搭載了電動旋轉(zhuǎn)單元。在旋轉(zhuǎn)樣品的同時進(jìn)行測量,能夠消除死角,再現(xiàn)真實(shí)的截面形狀??珊唵螠y量壁厚及凹陷尺寸。另外,采用 HDR 掃描算法提升了掃描能力,即使是光學(xué)輪廓測量儀不擅長的有光澤的目標(biāo)物或材料反光弱的目標(biāo)物,也能瞬間判斷理想條件,正確測量形狀。與傳統(tǒng)機(jī)型*相比,能夠?qū)討B(tài)范圍最大擴(kuò)大到 1000 倍進(jìn)行掃描。*與本公司VR-5000 產(chǎn)品的比較
產(chǎn)品特性
消除死角,光澤面也可測量
通過HDR 掃描算法,可測量的材料增加
通過旋轉(zhuǎn)、拼接消除死角后測量
一臺應(yīng)對圖紙指示
以0.1 μm分辨率捕捉面整體,最快1秒進(jìn)行高精度3D測量
不再需要區(qū)別使用測量儀
產(chǎn)品特性
激光顯微系統(tǒng)的基本特點(diǎn)
觀察
從光學(xué)顯微鏡到SEM領(lǐng)域一臺設(shè)備涵蓋
- 42 至 28800 倍
- 無需對焦
- 適用于多種樣品
測量
非接觸瞬間掃描形狀
- 不會損傷目標(biāo)物
- 納米級別也可準(zhǔn)確測量
- 透明體和坡度大的目標(biāo)物也可測量
分析
希望了解的表面“差異”一目了然
- 定量化微小形狀
- 輕松比較多個樣品
- 粗糙度分析
三重掃描方式
解決“難以測量”的難題
可根據(jù)樣品工件的材料、形狀和測量范圍,選擇激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理,進(jìn)行高精度測量。